潔凈室（Clean room）
潔凈室是指空氣潔凈度達(dá)到規(guī)定空氣潔凈度級(jí)別的可供人活動(dòng)的空間，并有控制消除污染的能力。
l【參考】 空氣懸浮粒子濃度受控的房間。它的建造和使用應(yīng)減少室內(nèi)誘入、生產(chǎn)及滯留的微粒，室內(nèi)其他有關(guān)參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進(jìn)行控制。
l【參考】 潔凈室在功能、設(shè)計(jì)、結(jié)構(gòu)和施工上有如下特點(diǎn)（表2.7）。
表2.7 潔凈室特點(diǎn)
功能上 設(shè)計(jì)上 構(gòu)造上 施工上
防止產(chǎn)生微粒 三級(jí)過(guò)濾 不產(chǎn)生微粒 清潔、干燥
阻止進(jìn)入微粒 末端過(guò)濾 不積存微粒 嚴(yán)密、平整
有效排除微粒 氣流方向有利于微粒沉降與排除 不妨礙清除微粒 按程序施工
l【參考】 潔凈室除了要控制室內(nèi)溫度、相對(duì)濕度外，還要控制塵埃、細(xì)菌、壓力、有害氣體濃度以及氣流分布。最為重要的是控制室內(nèi)的微粒（細(xì)菌或塵埃）濃度。
2.8工業(yè)潔凈室（Industrial clean room）
生物潔凈室（Biological clean room）
l【參考】 潔凈室就其控制的對(duì)象來(lái)說(shuō)，分為工業(yè)潔凈室和生物潔凈室兩大類(lèi)。
工業(yè)潔凈室以控制非生物微粒的污染為主要目的，而生物潔凈室以控制生物微粒的污染為主要目的。
l【參考】 生物潔凈室是指空氣中懸浮微生物被控制在規(guī)定值內(nèi)的潔凈空間。
l【參考】 由于控制對(duì)象不同，生物潔凈技術(shù)有它的特殊性，它與工業(yè)潔凈技術(shù)在實(shí)質(zhì)與控制機(jī)理上的區(qū)別可簡(jiǎn)明地歸納為表2.8。
表2.8 生物潔凈室與工業(yè)潔凈室對(duì)控制的不同要求
名稱(chēng) 生物潔凈室 工業(yè)潔凈室
典型應(yīng)用
場(chǎng)合 醫(yī)療、制藥、食品、實(shí)驗(yàn)動(dòng)物、生物安全領(lǐng)域等 高純度材料、微電子（如集成電路）、精密儀器、宇航等
微粒性質(zhì) 微生物為活的粒子，會(huì)繁殖。通常形成菌落形態(tài)，當(dāng)量粒徑相對(duì)大些 大多數(shù)塵埃的粒徑更小，濃度更高。有的工藝還注重塵埃的化學(xué)性質(zhì)
微?？刂?br /> 目標(biāo) 控制微生物污染或危害，更注重消除系統(tǒng)中滋生細(xì)菌的隱患 控制塵埃的粒徑與濃度，注重工藝生產(chǎn)的保護(hù)
微?？刂?br /> 要求 由質(zhì)量控制體系要求來(lái)確定空氣中容許微生物濃度 控制粒徑一般考慮為特征線(xiàn)寬的1/3或更小
微粒對(duì)
工藝影響 無(wú)菌工藝不允許有一顆菌粒污染，對(duì)一般工藝，生物微粒要達(dá)到一定的濃度才能構(gòu)成危害 處于關(guān)鍵部位的一顆微粒就能毀掉整個(gè)集成電路
控制微粒
的特性 對(duì)無(wú)菌工藝控制能產(chǎn)生一次危害的微粒，對(duì)一般工藝是一種累積性危害微粒（Progressive failure particle） 能引起工藝致命傷害的“殺傷粒子（Killer particles）”的粒徑
控制參數(shù) 室內(nèi)微生物濃度（凈化措施只是手段） 室內(nèi)的潔凈度級(jí)別
2.9單向流潔凈室（Unidirectional airflow clean room）
亂流潔凈室（Mixed airflow clean room）
l【參考】 氣流流型是指室內(nèi)空氣的流動(dòng)形態(tài)和分布形式。
l【參考】 按室內(nèi)氣流單一或并存的流態(tài)形式，潔凈室可分為四類(lèi)：
（1）    單向流潔凈室
（2）    非單向流潔凈室
（3）    輻流潔凈室
（4）    混合流潔凈室
l【參考】 通常分為單向流潔凈室和亂流潔凈室。亂流潔凈室是潔凈技術(shù)領(lǐng)域內(nèi)通俗詞匯，亦稱(chēng)非單向流潔凈室。
l【參考】 單向流潔凈室是由流線(xiàn)平行、方向單一、速度均勻的氣流流過(guò)房間工作區(qū)整個(gè)截面的潔凈室。氣流垂直于地面的為垂直單向流潔凈室，氣流平行于地面的為水平單向流潔凈室。
l【參考】 單向流是沿單一方向呈平行流線(xiàn)并且橫斷面上風(fēng)速一致的氣流。凡是不符合單向流定義的氣流稱(chēng)為非單向流。
l亂流潔凈室是通俗叫法，它形象地表示潔凈室內(nèi)的氣流流線(xiàn)不平行、方向不單一、流速不均勻，而且有交叉回旋的紊亂氣流流過(guò)房間工作區(qū)整個(gè)截面的潔凈室。
2.10全室空氣凈化（Whole room air cleaning）
通過(guò)空氣凈化等技術(shù)措施，使室內(nèi)工作區(qū)的空氣含塵濃度達(dá)到規(guī)定的潔凈度等級(jí)的方式。
局部空氣凈化（Local air cleaning）
僅在室內(nèi)工作區(qū)特定的局部空間內(nèi)空氣含塵濃度達(dá)到規(guī)定的潔凈度等級(jí)的方式。
2.11潔凈工作區(qū)（Clean working area）
潔凈室內(nèi)離地面高度0.8～1.5m（除工藝特殊要求外）的區(qū)域。
局部潔凈室（Local clean zone）
空氣含塵濃度達(dá)到規(guī)定的潔凈度級(jí)別的室內(nèi)局部地區(qū)。

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